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通过CVD方法生长出高度结晶的多层二硫化钼(MoS2)薄片(图文介绍)
发布时间:2021-08-17     作者:axc   分享到:
使用CVD具体方法生冒出相对高度成果的多个二塑炼钼(MoS2)薄片(图文并茂讲述)

具有本征带隙的二维MoS2由于其在电子和光电子器件方面的潜力而引起了科研学着关注。 但是,由于这种材料的迁移率相对较低(甚至低于多晶硅),这大大地阻碍了其迈向实际应用。目前已经有一系列针对单层MoS2的研究,但是与此同时多层MoS2的研究相应的有所缺失。然而实际上,由于具有较高的态密度,多层MoS2具有比单层MoS2高得多的迁移率和驱动电流,这使得多层MoS2在薄膜晶体管、逻辑器件和传感器等方面更具应用前景。 然而,到目前为止报道的多层MoS2的**性能是通过机械剥离获得的,这并不适合实际应用,而目前化学气相沉积(CVD)合成的多晶多层MoS2薄膜,显示出低得多的迁移率。

为了推进多层为了推进多层MoS2的实际应用,我们通过CVD方法生长出高度结晶的多层MoS2薄片解决了上述问题。可以实现高达20层的MoS2以良好限定的AA顺序堆叠在一起,而且每层的边缘是原子级平滑的Mo原子锯齿形结构。多层沟道、原子级有序的边缘以及理想的接触几何形状使得这些CVD生长的多层MoS2薄片表现出优于机械剥离多层MoS2的电性能。除了场效应晶体管之外,这些多层MoS2晶体管也适合于构建基于单层-多层MoS2结的整流二极管。

【图文简介】

图1 人工各不相同总层的数量的MoS2薄片

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a)操作桥拱腐蚀Mo箔作作用前体CVD产生MoS2的展示图。b)萌发乙酰乙酸的大尺寸图电子光学画面,体现 了15-20层MoS2MoS2的萌发,成品率≈70%,身材比例尺:50μm。c-f)CVD植物生长的三层、5层、8层及及17层MoS2薄片的光学反应图面。g,h)12层MoS2的光学反应画像以其AFM画像,中仅MoS2包括≈20μm的周长。i)提示的是g)中MoS2供试品的拉曼mapping 画面,其具备有在404cm -1处的峰。j) 该MoS2印刷品的PL mapping 画像,其峰峰值在1.80eV峰处。c-j)中的此例尺均为5μm。


图2 CVD生长MoS2薄片的层依赖光谱表征

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a) 对应是1,2,3,4,6,9和10层MoS2的光纤激光切割机的图文。比倒尺:5μm。b-d)各用对应着a)中MoS2薄片的拉曼、PL和SHG谱。e)E2g1、A1g拉曼模型的层依耐性頻率和之间的关系。f)层依耐性性PL峰区域和密度。g)层依耐性性SHG强。


图3 实验制备的多层MoS2的TEM和STEM表征结果

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a)浮悬在多孔碳TEM网格上的CVD发展的层层MoS2薄片TEM图相。分配比例尺:1μm。在a)下图多个MoS2上标志的1和3的SAED图像文件分別如b)图和c)图所显示。d)STEM-HAADF图文及及e)另个个双层MoS2薄片(及时补充信息)1-2层周围处的模拟训练图文。蓝色的和红色球分別表达出来Mo和S共价键。比倒尺:1nm。f)从左到右不同是1至8层MoS2的STEM-HAADF模拟机图案。比列尺:1nm。g)AA堆叠的叠层MoS2的氧分子结构的。面内Mo-S键的角度同一,上层的S氧分子与下层社会的六角形学校重合。


图4 CVD生长的的三层MoS2薄片的电学效能

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a,b)小高层机械设备制造分离MoS2和CVD发展的MoS2薄片里的电学接受几何图形形式的构造图。c)在1V的偏压下16层MoS2的Ids-Vgs特点。插图图片:在40V的栅极线电压下的Ids-Vds等值线并且元器件封装的光学薄膜图相。基数尺:5μm。d)栅极电压降为0V时预估的1-8层MoS2结的Ids-Vds特征。图文并茂:集成电路芯片的光电技术数字图像。数量尺:5μm。层高依耐的e)电子器材迁入率和f)Vgs=40V和Vds=1V时直流电衡量值的调查统筛选据,另外网红柱提出CVD生长发育的MoS2薄片,蓝颜色柱提出物理脱离的MoS2薄片。

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CVD-SiO2/Si衬底单层氮化硼薄膜

CVD-铜基单层氮化硼薄膜

硅基氮化硼/石墨烯异质结

CVD-PdS2薄膜

CVD-多层氮化硼BN薄膜

CVD-硅基单层氮化硼BN薄膜

CVD-少层氮化硼BN薄膜

CVD-WS2-WSe2面内异质结

CVD-MoS2xSe2(1-x)合金单晶

CVD-PtSe2单层薄膜

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M1相二氧化钒VO2单晶薄膜

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