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光电材料|光电性能可调的(In1-xAlx)2O3薄膜的沉积与表征
发布时间:2021-12-22     作者:光电材料   分享到:

采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在SiO2(110)衬底上制备了光电性能可调的光电材料三元(In1-xAlx)2O3 (IAO)薄膜。

研究了不同In-Al含量x [Al/(In+Al)原子比]对光电材料IAO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。

XRD了解表述,发生变化In含量的的变低,塑料膜由**的立米In2O3框架改变为非晶相。

所有光电材料IAO薄膜均表现出**的光学性能,在可见范围内的平均透射率均超过84%。

当x数值为0 ~ 0.9时,透气膜的光学玻璃带隙可从3.71 eV调配到5.29 eV。随In占比的降底,霍尔迁出率和载流子质量浓度骤降,电阻功率率增长。

最终结果体现了,经由转换in - al混合物,可**地自动调节IAOpe膜的稳定性,得以可用途于短主波长光电科技元器件的提纯。


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