光電涂料β-FeSi2是微电子子领域行业中另外一种极为重要的半导体设备硅化物。

下面使用脉冲信号脉冲激光形成Fe复合膜的办法，在Si（100）衬底上分离纯化了β-FeSi2耐热合金层，并且在800℃的真半空完成热去应力退火。

退火温度的调整对样品的形貌、结构和光学性能有明显的影响。800°c退火后样品表面光滑，光电公司材质β-FeSi2相结构良好。

采用所制备的光电科技村料β-FeSi2合金层作为光电转换层，在1319 nm波长下，红外探测器的响应率为1.8 mA/W，探测率为1.44 × 107 cm⋅Hz1/2 W−1。

大量推存

meso-四(对烷氧基苯基)卟啉钼配合物

加硫铅固载四(对-羧基苯基)铁卟啉催化氧化材质(FeTCPP/PbS)

cas:108443-61-4|四羧基苯基卟啉钴|TCPP-(Co2+)

原卟啉 IX 二甲酯，CAS号:5522-66-7

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