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光电材料|β-FeSi2在脉冲激光沉积Si(100)衬底上的退火效应及红外光电响应
发布时间:2021-12-27     作者:光电材料   分享到:

光电产品文件β-FeSi2是微电子子域中其中一种根本的半导体材料硅化物。

文章选用输入脉冲激光行业基性岩Fe透气膜的技术,在Si(100)衬底上准备了β-FeSi2金属层,但是在800℃的真半空做好热去应力退火。

退火温度的调整对样品的形貌、结构和光学性能有明显的影响。800°c退火后样品表面光滑,光電物料β-FeSi2相结构良好。

采用所制备的光电子相关材料β-FeSi2合金层作为光电转换层,在1319 nm波长下,红外探测器的响应率为1.8 mA/W,探测率为1.44 × 107 cm⋅Hz1/2 W−1。


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多推存

meso-四(对烷氧基苯基)卟啉钼配合物

硫化橡胶铅固载四(对-羧基苯基)铁卟啉崔化物料(FeTCPP/PbS)

cas:108443-61-4|四羧基苯基卟啉钴|TCPP-(Co2+)

原卟啉 IX 二甲酯,CAS号:5522-66-7


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