氧化锆YSZ单晶基片 <100><110><111>取向
氧化反应反应锆(ZrO2) 伴随ZrO2多晶硅需掺杂钇(Y)以比较可靠其构造,般实际上的采用的是YSZ多晶硅一进入钇比较可靠剂(量约19%)的氧化反应反应锆多晶硅。它机械设备制造、化学反应比较可靠性好,费用较低以求而非大范围利用。



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