反射式高能电子衍射(RHEED)的特点及原位实时监测薄膜生长的原理
反射面式微高网上衍射(Reflection high energy electron diffraction，代称RHEED)RHEED的优缺点及原位实时时间监测网聚酯薄膜产生的作用：光反射式较高能光学衍射（RHEED）就是种原位（In-situ）监测方案器pe膜生長设备构造的**.辅助工具。在汽车镀晶工艺设计中，它常见装在MBE装置上，用作pe膜设备构造的原位监测方案器，RHEED的应用领域最大地从而提高了MBE汽车镀晶环境的学习高效率。RHEED能用于监测器方案复合膜萌发(（就算是亚单电子层层)。经过RHEED 小图案显著特点，能能进行研究分析肌底的表明再构、肌底或复合膜表明的单晶体结构设计。经过衍射构造的波动，可进行研究分析复合膜表明干燥度，然后监测器方案复合膜萌发进度表。与低能智能電子衍射(Low energy electron diffraction，LEED)和電子散射智能電子衍射(Transmissionhigh energy electron diffraction，THEED）相差别，它还具很高的智能電子人体脂肪（10~100keV),智能電子与塑料膜的面上的想法还具折射性能。其机理如同右图，10~100keV的高人体脂肪智能電子以较小的角度来（基本上为1~3°)入射印刷品的面上，即智能電子束以可以说水平线线于印刷品的面上的路径入射，会出现印刷品晶面的衍射后，在其它侧的触摸屏上可探测到智能電子衍射数据数据信号，借助此数据数据信号可进行监控塑料膜的的生长格局与现状。可能在RHEED研究中，智能電子束以可以说水平线线于印刷品的路径入射，以至于智能電子束仅仅是透入塑料膜的面上儿个氧分子层板材厚度，这就掉进了这让RHEED为晶胞的面上格局剖析的强有效.器具。网络衍射同样是可不可以用爱瓦尔德的倒易的理论与实践开始定量分析，衍射倒易的理论与实践觉得，当爱瓦尔德衍射球与倒易晶格点重合时，衍射就能發生。平常总的来说，由衍射花型可马上断定种子发芽的透明膜可否为单单多晶体体。要是大能网络衍射發生在现实存在肯定精致型式的单单多晶体体体（Single crystalline）表皮，立体的倒易晶格点将体现为无限大的水平棒束，事实上上原因热震动和晶格的不完美性，基本上体现为有限责任的水平棒束( Streaky feature)，下图 (b)。若衍射發生在平整的多单多晶体(Polycrystalline)表皮，其衍射花型为环状。要是衍射發生在不足平整的单多晶体表皮，已经养成斑点状花型(Spotty feature)，下图 (c)。而要是大能网络入射非晶型式表皮，原因不现实存在游戏规则的衍射晶面，会的不管什么衍射花型，只 背底唯别。原因反射性球圆弧非常大的，和球体重合的除（00）杆外另外 （01)，(01)杆，或是（02)，(02〉杆，这么多杆养成相对应的衍射花纹。
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