反射式高能电子衍射(RHEED)的特点及原位实时监测薄膜生长的原理
反射性式大能网络衍射(Reflection high energy electron diffraction，又称RHEED)RHEED的亮点及原位及时监测技术溥膜发芽的道理：反射强度式源能电子技术衍射（RHEED）是一个种原位（In-situ）探测petbopp薄膜种植机构的**.交通工具。在电镀技术中，它普通安裝在MBE软件上，使用petbopp薄膜机构的原位探测，RHEED的软件太大地提供了MBE电镀前提条件的的研究错误率。RHEED用于于污染监测站膜和珍珠棉繁殖(（即便 是亚单氧原子层)。顺利按照RHEED 图型特殊性，会数据介绍基低的漆层能再构、基低或膜和珍珠棉漆层能的硫化锌框架。顺利按照衍射程度的變化，可数据介绍膜和珍珠棉漆层能毛糙度，因此污染监测站膜和珍珠棉繁殖进展。与低能智能衍射(Low energy electron diffraction，LEED)和自动化无线设备散射智能衍射(Transmissionhigh energy electron diffraction，THEED）相區別，它享有很高的智能养分（10~100keV),智能与透气膜外面的想法享有散射性能特点。其目的如图是如下图所示，10~100keV的高养分智能以较小的走向角（常常为1~3°)入射合格品外面，即智能束以可以说持平线于合格品外面的走向入射，产生合格品晶面的衍射后，在别的侧的荧屏上可判断到智能衍射信息，顺利通过此信息可城市热力图监测网透气膜的种植结构类型类型与实力。随着在RHEED进行实验中，智能束以可以说持平线于合格品的走向入射，因智能束仅仅是透入透气膜外面儿个分子层重量，这正合适促使RHEED成為纳米线外面结构类型类型解析的强有力.设备。电商设备衍射同一需要用爱瓦尔德的倒易说法知识来分折，衍射倒易说法知识并不是，当爱瓦尔德衍射球与倒易晶格点重合时，衍射也就会发现。般并不是，由衍射图样可会直接直接判断种子发芽的贴膜有没为单晶硅硅。要是高可电商设备衍射发现在体现了决对完美无缺构造的单晶硅硅体（Single crystalline）漆层能，立体的倒易晶格点将表达为非常大的直线棒束，实计上是主要是因为热震动问题和晶格的不完整详细性，大部分表达为比较有限的直线棒束( Streaky feature)，如下图 (b)。若衍射发现在均匀的多晶状体(Polycrystalline)漆层能，其衍射图样为环状。要是衍射发现在不足均匀的晶状体漆层能，就会达成条状图样(Spotty feature)，如下图 (c)。而要是高可电商设备入射非晶构造漆层能，是主要是因为不有守则的衍射晶面，不得出某些衍射图样，只有背底唯别。是主要是因为反射面球圆的半径非常大，和球体重合的除（00）杆外再有（01)，(01)杆，也（02)，(02〉杆，某些杆达成相关的的衍射纹路。
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